1、系统介质:无水乙醇等;
2、介质温度:常温;
3、压力控制精度:≤±0.05MPa;
4、压力稳压精度:≤0.5%F.S;
5、压力采集精度:≥0.2%F.S;
6、控制方式:工控机全自动控制;
7、过滤精度:气路2u、液路入20u-出10/2u两级过滤;
8、粒子计数精度:2-100u;
9、电源:380V 50Hz 5kW;
10、气源:高压空气或者氮气。
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