主要技术参数:
压力范围:-95kPa~500kPa;
压力测量精度:±0.05%FS;
压力显示分辨率:0.1Pa;
流量范围:0~200 L/min;
流量测量精度:±0.25%FS;
温度范围:-20℃~260℃;
温度均勾度:真空≤5℃,正压≤3℃;
升温速度:平均升温速度不小于1℃/min;
降温速度:平均降温速度不小于0.5℃/min;
环境舱密封性:在极限温度及极限压力下可靠密封,漏率≤20Pa/min;
位移测试方式:机械式+激光式;
位移测试范围:0~10mm;
位移测试精度:±5um;
位移最小显示分辨率:0.1μm
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